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Formation - Interactions plasma / surfaces : utilisation des plasmas froids pour le traitement et la modification de surfaces

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RESPONSABLE

Stéphane BECHU

Directeur de recherche

UMR 5821

LIEU

LAGNIEU (01)

ORGANISATION

31 h
De 6 à 18 stagiaires

MÉTHODES PÉDAGOGIQUES

- Alternance de cours (19 h) et de travaux pratiques (12 h)
- 6 stagiaires maximum par groupe de TP
Présentiel ; à distance, pour cause exceptionnelle (maladie ou impératif d'un intervenant)
Des supports papier et dématérialisés (clés USB) seront fournis aux stagiaires reprenant l'intégralité des slides présentées. Les ouvrages édités après les journées du réseau plasmas froids seront présentés aux stagiaires.
En fin de formation, un test d'auto-évaluation d'acquisition des connaissances sera effectué et une correction collégiale commentée permettra à l'apprenant de se positionner sur l'atteinte des objectifs de la formation.

COÛT PÉDAGOGIQUE

1900 Euros

A L'ISSUE DE LA FORMATION

Evaluation de la formation par les stagiaires
Envoi d'une attestation de formation

DATE DU STAGE

Nous consulter

2025
Janvier Février Mars
25080		 Avril
Mai Juin Juillet Août
Sept Oct Nov Déc
OBJECTIFS
-

Acquérir et / ou consolider des bases en physique des plasmas (fonction de distribution, sections efficaces de collisions, équilibre thermodynamique…)


-

Savoir utiliser des diagnostics plasma (optique et électrostatique) et interpréter les résultats obtenus


-

Connaitre les principaux traitements de surfaces utilisant les plasmas : dépôt et gravure de couches minces


-

Décrire les possibilités de traitements de polymères, les spécificités des plasmas à pression atmosphérique

PUBLIC
Chercheurs, doctorants, post-doctorants, ingénieurs et techniciens supérieurs de l'industrie qui exploitent ou étudient des plasmas essentiellement basse pression
PRÉREQUIS
Une formation scientifique, BAC+3 minimum, en physique et/ou chimie sont nécessaires pour ce stage. Des connaissances en électricité et technologie de vide sont préférables mais non indispensables. Les cours sont délivrés en français ; une bonne connaissance des termes scientifiques en français est donc indispensable.
PROGRAMME
- Bases théoriques des plasmas
- Production de plasmas froids
- Diagnostic optique des plasmas
- Introduction aux mécanismes de gravure
- Fonctionnement d'un réacteur RF (13.56 MHz) (TP)
- Procédés de pulvérisation et caractérisation des couches minces obtenues
- Plasmas et croissance de films minces
- Utilisation de l'actinométrie pour la caractérisation d'un plasma (TP)
- Utilisation des sondes de Langmuir (TP)
- Procédé de dépôts de couches minces à l'échelle atomique (PE-ALD)
- Introduction aux plasmas à la pression atmosphérique
- Interactions plasmas / polymères
- COMSOL MultiPhysics
EQUIPEMENTS
Dispositif de mesure par sonde électrostatique (de Langmuir), disponible via le réseau Plasmas Froids du CNRS ; spectromètre optique de haute résolution (Jobin-Yvon FHR1000) ; dispositif interférentiel de mesure d'épaisseur ; réacteur plasma ECR (2,45 GHz) ; réacteur R.F. (13,56 MHz)
Une version d'évaluation complète de la suite logiciel COMSOL MultiPhysics sera mis à disposition des stagiaires une semaine avant la formation et pour une durée d'un mois. Il est préférable que les stagiaires puissent amener un PC sur lequel ce logiciel sera chargé ; sinon un poste de travail sera fourni par le LPSC.
INTERVENANTS
S. Béchu, G. Henrion, A. Tallaire (directeurs de recherche), M. Bonvalot, T. Tillocher, J. Pulpytel, E. Despiau-Pujo, C. Lazzaroni, N. Naudé (maîtres de conférences), B. Fernandez (assistant ingénieur), A. Bès (ingénieur de recherche) et L. Renversade (ingénieur)
Avis des stagiaires

"Formation très intéressante et complète." Quentin P., Grand groupe industriel

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